半导体产业是台湾相当重的产业,围绕芯片制造流程的公司相当繁多,新竹科学园区是重要的科技产业重镇,也成为贡献台湾经济的要角。而英特格 (Entegris) 公司也许大家比较不熟,但在半导体制程中,提供制程材料过滤相关方案,以及进阶物质处理,如提供晶圆片运输的盒子,才能确保良率和污染物控制。
英特格台湾区总经理谢俊安介绍他们公司主要业务,与半导体相关公司业务略有不同的地方在于,英特格有 3 个比重差不多的事业群,特用化学、微污染纯化、进阶物质处理。一般来说上述其中一种业务,就足够开公司了,但英特格则是少见 3 种业务合在一家公司,每一个事业群就一家公司规模了。这样的公司状况,优势是可以英特格处理半导体制程材料过滤业务,然后运输材料也由英特格处理,提供客户更快速而且完整的服务。
同一种工业由于不是一家公司能吃掉所有业务,所以常形成产业聚落,英特格依照客户需求设厂,在竹科有微污染纯化和进阶物质处理的业务,而在离竹科不远的竹东,则有英特格台湾技术研发中心,从 2006 年到现在,协助客户提供研发和分析服务。
在国际半导体展前夕,8 月 31 日宣布要在台投资加码,投资台湾 600 万美元,就是要在竹东的台湾技术研发中心,提升其研发规模。具体的投资项目为增加台湾技术研发中心引进 KLA SP3 晶圆检测工具及相关设备。
不少企业高喊数位转型口号,具体做法得将原先业务与资讯系统整合,造就更多芯片需求,不少传统上不连网不配备芯片的设备得要有,也就意味芯片的效率得更好。另一方面,半导体制程往 7 奈米,甚至未来可能有 5 奈米、3 奈米制程,将会需要更新更纯的材料需求,污染控制也就更相形重要。
半导体制程相当要求污染控制,所以空气和水需要经过。而不同代的制程,如 28nm 与 7nm 相比,需要增加 100 倍的洁净度,或是不纯物的大小,要减少 4 倍的程度。
而新的 KLA SP3,一台就要 600 万美元,配备 Class 10 无尘室及 ACT12 涂布机。Class 10 无尘室只允许大于 0.5μm 粒径的微尘粒子,十颗的程度。打个比方,讲半导体制程需要的洁净程度,必须要做到像是在新北市大小的地方,找到一颗硬币。
不少台湾人怕 PM5 空气污染物,在家中放空中清净机过滤家中的空气。但在半导体制程所需要空气净化的程度更高,而且也需要更高纯度的用水。英特格的微污染防治方案,主要有用在厂房空气过滤器,,以及用水滤心,如化学机械研磨 (CMP) 过滤器和奈米熔喷 (Nano Melt blown) 滤芯。再搭配厂房内或是跨厂之间的晶圆运送,进阶物质处理业务,英特格比起其他友商比提供整合性的服务。
被问到目前英特格台湾市场状况,谢总经理只能用类比的方式,与英特格全球市场如占 50% 的话,那台湾的市占更大。是否会进到台积电的供应链中,谢总经理说他们会持续精进他们的技术,提供工程上的解决方案。
(首图来源:英特格)
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