在晶圆代工市场,台积电与三星的竞争始终是大家关心的戏码。三星虽然有高通等 VIP 客户,但在 7 奈米制程节点,高通预计会转投台积电,三星要想受更多客户的青睐,只能从制程技术着手了。这也是三星为什么跳过非 EUV 技术的 7 奈米制程,直接上 7 奈米 LPP EUV 制程技术的原因。如今,三星终于公布了 7 奈米 LPP 制程已完成新思科技(Synopsys)物理认证,意味着 7 奈米 EUV 制程将可全球量产了。
目前全球前几大晶圆代工厂商,英特尔 10 奈米制程还没搞定,距离 7 奈米制程最遥远。台积电 7 奈米制程量产比较顺利,会有苹果、海思、高通、NVIDIA、AMD 等客户陆续流片、量产。台积电第一代 7 奈米制程,使用的还是传统多重曝光技术,必须到 2019 年第 2 代 7 奈米制程才会使用 EUV 光刻技术。
格罗方德也走与台积电相似路线,预计 2018 年量产 7 奈米 DUV 制程还是传统的深紫外光刻技术。对此,号称频率可达 5GHz 的 AMD 7 奈米 Zen 2 处理器会使用格罗方德的 7 奈米制程技术,2019 年初问世,2020 年再下一代才是 7 奈米 EUV 制程技术。
相对其他竞争对手,三星在 EUV 技术最积极。三星直接跳过第一代非 EUV 光刻 7 奈米制程,直接使用加入 EUV 技术的 7 奈米 LPP 制程,预定 2018 下半年正式量产。日前,新思科技与三星已联合宣布,三星使用的 7 奈米 LPP 制程技术完成 IC 验证器的认证。
三星完成这次认证之后,7 奈米 LPP 制程就可立即提供认证的技术资料,包括 DRC 设计规则检查、LVS 布局与原理图、金属填充技术档等予相关客户,意味着三星的 7 奈米 LPP 制程正式进入量产阶段。
目前 EUV 光刻技术竞争激烈,各家大厂抢 EUV 光刻机也成为重要目标之一。根据之前消息,ASML 的 EUV 光刻机,台积电订购了约 10 台,三星订购约 6 台,英特尔订购 3 台,而格罗方德的 EUV 订单数量不详,中国中芯国际也订了 1 台 EUV 光刻机,将用于 7 奈米制程技术研究,预计 2019 年初交货。各家厂商都有 EUV 光刻机的情况下,似乎未来 7 奈米节点要胜出,就必须比较各家的技术与管理能力了。
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