根据韩国媒体《BusinessKorea》的报导，日前韩国三星电子副董事长李在镕前往荷兰拜访曝光机大厂艾司摩尔 (ASML)，其目的就是希望 ASML 的高层能答应提早交付三星已经同意购买的极紫外光曝光设备 (EUV)。
根据报导指出，李在镕在荷兰当地时间 10 月 13 日拜访 ASML 时，就与该公司的首席执行官 Peter Wennink 会面。而报导也转述荷兰当地媒体的报导表示，李在镕在与 Peter Wennink 见面的会议上，李在镕要求 ASML 能够同意提前一个月交付三星已经同意购买的 9 部 EUV。而对于李在镕的要求，ASML 目前正在考虑中，使得这些原本预计在最快 11 月份交付的设备能提前 1 个月运往韩国。
报导进一步指出，目前三星极需要透过 EUV 曝光设备来优化旗下晶圆代工业务的先进制程，用以在市场上争取客户订单，而进一步拉近与晶圆代工龙头台积电的差距。目前，ASML 是当前全球唯一生产 EUV 设备的厂商，而 EUV 设备对于在晶圆代工中的先进制程，尤其是在当前最先进的 5 奈米或未来更进一步的半导体制程中至关重要。而三星目前极需要将这些 EUV 设备安装于三星正在建设的韩国平泽 2 号工厂的新晶圆代工产线，以及正在扩建的韩国华城 V1 产线上。
据了解，三星电子已经于 2020 年 5 月份，在韩国平泽的 2 号工厂中开始设置晶圆代工的产线，该公司计划在该条新晶圆代工产线上投资约 10 兆韩圜，并预计于 2021 年下半年开始全面量产。至于，在韩国华城工厂内的 V1 产线，则已经于 2019 年投入营运，该产线专门以 EUV 技术来协助量产 7 奈米制程的芯片。目前该产线正在扩产中，预计未来将投入 5 奈米和 5 奈米以下更先进制程的芯片生产。对此，三星也计划到 2020 年底，将华城 V1 产线的晶圆月产能提升至 2 万片的规模。
就因为三星加紧对晶圆代工的先进制程扩产，因此确保 EUV 曝光设备能够确实装机，是目前三星最紧迫的任务。如果 EUV 设备的装机时程被延后，则三星希望借由 EUV 设备来优化先进制程，进一步获得全球半导体客户青睐而取得订单的机会，则可能会拱手让给竞争对手台积电。
以目前来说，三星目前已经开始营运的有 10 部 EUV 设备，另外还已经在 2020 年向 ASML 下单订购了约 20 部的 EUV。但反观台积电则更是来势汹汹，目前不仅已经营运 20 部以上的 EUV 设备，还宣布到 2022 年时将再购买 60 部 EUV 设备。这情况也让李在镕更加心急，不得不飞往荷兰与 ASML 高层进行协商。
(首图来源:三星)
