台积电积极发展工业废水再生技术,预计于民国 110 年启动南科园区工业废水再生工程,导入工业再生水为晶圆制程用水,至 112 年每天将达 2 万吨再生水。
台积电表示,内部不断透过“开源”与“节流”并行的方针强化用水效率,采取水资源风险管理、拓展多元水资源及水污染防治技术开发三大水管理策略。
拓展多元水资源,台积电 104 年起积极发展再生水技术,成功降低厂内废水水质相关因子,目前自产所得的再生水,不只达到半导体制程用水标准,排放水质也符合法规放流规定。
台积电今年进一步与南部科学园区管理局签约,促建“台积电南科再生水厂”,预计明年启动园区工业废水再生工程,导入工业再生水为台积电晶圆制程用水。
台积电指出,初期规划每天可供给再生水约 0.5 万吨,112 年每天则将增加至 2 万吨再生水。
台积电同时全力支持-再生水政策,除提供-再生水制程相关专业意见与推行经验,并将采购再生水,预计 113 年每天将购买永康及安平两处再生水厂生产的再生水共 4.7 万吨。
(作者:张建中;首图来源:台积电)