几番波折的台积电中科扩厂案在历经三度环评卡关、环差报告重新送审,终于在 2016 年尾声通过,可无后顾之忧冲刺 10 奈米量产。而赶在农历年前,攸关台积电 5 奈米制程的南科扩建案在 18 日也宣告通过,最快将在今年动工,力拼 2020 年 5 奈米量产!
环保署昨 18 日召开第 307 次环境影响评估审查委员会会议(环评大会),会中通过了南科扩建案环境差异影响评估,而此案攸关台积电 5 奈米生产基地的建造,因此格外引人关注。据《经济日报》报导,台积电厂务处处长庄子寿于环评会后表示,5 奈米制程仍在发展,为未来 2~3 年计划,规划占地约 40 公顷,投资金额上千亿元,待台积电董事会通过后就会启动,最快今年就会动工。据先前台积电官方先前说法,5 奈米预计于 2020 年量产。
南科一期、二期开发计划先前已分别于 2001 年、2003 年通过,但为因应半导体先进制程的更新,变更用水与用电量,申请办理环差变更,并协调台电与水利署调度支援,南科平均日需水量(CMD)从原本的 20 万增加至 25 万,用电量也从原本的 152 万 kW 增加至 222 万 kW,园区也承诺将采用再生水,在先前三次环差审查,南科管理局承诺配合供水期使用 1.25 万 CMD 再生水、2 万 CMD 再生水,总计 3.25 万 CMD。并分阶段拟定节电计划,目标 2021 年至 2031 年整体园区能节电 9.2 亿(度/年)。
台积电去年 12 月底终于通过中科园区(原大肚山弹药分库)开发案环差变更,预计中科新厂晶圆 15 厂 P5、P6 厂将于 2017 年完工,除了导入 10 奈米量产,7 奈米制程官方预计也会安排在此。现在南科扩建案通过环评,5 奈米计划同样蓄势待发。
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(首图来源:台积电官网)
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