外媒报导，中国半导体企业专注采用深紫外 (DUV) 曝光技术的半导体生产技术发展，原因是中国半导体企业受制国际协定，仍无法购买生产更先进半导体制程的极紫外 (EUV) 曝光设备。
中国本土最大晶圆代工厂中芯国际近日决定，将荷兰半导体设备厂艾司摩尔 (ASML) 合约延长至 2022 年，并增加 DUV 设备进口。《中国经济日报》报导，中芯国际增加采购 ASML 的 DUV 设备，以提高利用 DUV 曝光设备生产半导体的技术竞争力。
中芯国际 2021 年初开始与 ASML 谈判扩大 DUV 设备采购规模，但美国-半导体设备监管持续扩大，扰乱中芯国际 DUV 设备采购计划。现阶段因确认 DUV 设备排除于美国-禁令外，中芯国际决定增加进口 DUV 曝光设备。ASML 有 30% 营收来自中国，大部分就是贩售 DUV 设备给中芯国际。
与 10 奈米以下先进制程的 EUV 曝光设备不同，DUV 曝光设备为成熟制程使用，主要生产汽车电源管理芯片 (PMIC) 和微控制器 (MCU) 等不需先进制程的产品。然而半导体制造商开发出更先进技术，晶圆制造商也可使用 DUV 曝光设备生产 10 奈米相关节点制程。台积电和韩国三星也使用 DUV 曝光设备生产 10 奈米相关节点制程。
EUV 设备进口中国不可能，中国企业开始将目光从 EUV 制程转到 DUV 制程。因中国半导体企业无法 10 奈米以下生产更有利可图的产品，目标转以提高 14 奈米或更大制程的产品为主。根据统计，截至 2020 年底，成熟制程产品就占整个系统半导体市场销售金额 73%。
中芯国际已决定到 2023 年前，斥资 110 亿美元扩大深圳上海 DUV 生产线。媒体报导，中国半导体企业使用 ASML 的 DUV 设备者约 1,000 件。为了满足需求，中国半导体企业正加紧从日本半导体设备企业购买二手设备。日本经济新闻报导，中芯国际等中国半导体企业因积极从日本半导体设备商购买二手半导体设备，使二手半导体设备市场近期大幅成长。
(首图来源：ASML)
