美国对中国内存厂商福建晋华发布禁售令，重创北京的半导体美梦，中国当局或许打算另辟蹊径，强化半导体产业。近来韩国内存大厂 SK 海力士（SK Hynix），在中国无锡厂引进了 DUV（deep ultraviolet，深紫外光）光刻设备。韩国媒体揣测，中国对韩国内存业者启动反垄断调查，韩国厂或许被迫引进高科技设备讨好北京当局，以免惨遭修理。
韩国媒体 BusinessKorea 2 日报导，2018 年 12 月 SK 海力士在中国无锡厂举行 DUV 设备的导入典礼，将用来生产 DRAM。新设备是荷兰半导体微影设备商艾司摩尔（ASML）的“NXT2000i”，一台要价数千万到数亿美元之间，这是 ASML NXT2000i 首次引进中国。ASML 不向中国贩售最新设备。
DUV 没有 EUV（极紫外光）先进，但是 ASML 说，装设在无锡厂的 NXT2000i 是最新机型，能把曝光过程的错误减到最低，并且能和最先进的 EUV 设备 NXE3400B 共同使用、创造综效。外界猜测，SK 海力士未来也许有意在无锡厂导入 EUV 设备。不过 SK 海力士高层表示，目前 EUV 设备主要用于生产系统半导体，在无锡厂采用 EUV 生产内存还言之过早。
有些分析师指出，SK 海力士在中国引入高科技设备，与中国当局的反垄断调查有关。去年底，北京放话说，三星电子、SK 海力士、美光的反垄断调查，出现实质进展，最多可能处以 80 亿美元的罚款。不只 SK 海力士害怕遭课天价罚金，三星也紧张。分析师说，三星电子关闭了天津的智能手机工厂，但为了和中国政府维持良好关系，三星集团的 Samsung SDI 和三星电机（Samsung Electro-Mechanics）都加强对中国投资。
（本文由 MoneyDJ新闻 授权转载；首图来源：SK 海力士）
延伸阅读：
- 三星 2018 年底汰除天津手机工厂，另将设电池及车用 MLCC 工厂
