台积电致力实践绿色制造，与应用材料及附属设备供应商打造物联网智慧节能控制系统，预计未来每年可省电 8,200 万度，创造新台币 5.2 亿元的节能效益。
台积电表示，半导体晶圆制造过程中会使用不同的制程气体，一般位于非生产区的附属设备皆以固定全载方式运转。
为提高能源使用效率，台积电于民国105年携手供应商开发及导入“iSystem物联网智慧节能控制系统”，成为生产机台与附属设备之间的对接桥梁。
根据半导体设备通讯标准读取生产机台的ECID / SVID，获得制程气体实际使用状态，再依照附属 设备运转稳定性与去除效率验证所定义的控制参数，即时对附属设备下达对应的指令，使其可依生产机台使用的制程气体，同步自动调变运转参数与能耗以达成节能效果。
除了节能模式，台积电与供应商进一步开发附属设备的睡眠模式与休息模式，当生产机台于较长时间未运转时，可节省更多能耗。台积电并持续优化附属设备运转控制层级及其参数，提升能源使用效率，并降低氮氧化物（NOx）产生，达到节能与环保的双重效益。
为更系统化落实节能行动并确保成效，台积电109年将ISO 50001能源管理系统导入iSystem，根据 iSystem收集附属设备的能耗资料，建立能源绩效指标与能源基线，自动计算节能量。
台积电内部资讯技术单位同时开发建置iSystem异常管理系统与节能报表系统，以利更精准掌握能源使用量，并进一步计划将能耗资料储存于云端，透过AI与机器学习技术自动侦测、即时通报能源使用异常状况，亦可借由大数据分析获得最佳的运转操作参数，极大化能源使用效率。
台积电已将iSystem物联网智慧节能控制系统导入晶圆15B厂80种制程、588台生产机台所属2,351台真空泵、805台现址式尾气处理系统，年度省电1340万度、减少1万3,800公吨碳排放量，创造8,500万元的节能效益。
为扩大节能效益与使用范围，台积电寻求与其他半导体设备供应商合作，所有制程及生产机台的附属设备皆计划导入智慧节能机制。
除晶圆15B厂持续进行应用开发与建置外，台积电晶圆18厂也于110年开始导入，并将逐步推展至台湾厂区所有12吋晶圆厂，预计未来每年可省电8,200万度、减少8万4,600公吨碳排放量，创造5亿2,000万元的节能效益，持续朝碳中和与净零碳排放的永续目标迈进。
台积电统计，109年内部执行460项节能措施，有效节电5亿度，此外，透过开发领先全球的高效节能半导体技术，协助客户生产更据能源效益的产品，经由工研院产科国际所模型分析，台积电每使用1度生产用电，能为全球节省4度电。
台积电指出，参酌美国节能经济委员会（ACEEE）研究成果，发现经济发展与电力使用同步成长的趋势，可因电子产品的导入与智慧产品的应用而产生脱勾，即透过资讯与通信科技加值各行业的生产力，让相同的资源（电力等）投入获得更多产出。
当进一步分析以半导体为核心的电子产品应用，台积电表示，119年约可帮助全球节电10.7%，约当3.27兆度电；倘若考量半导体占电子产品比例及台积电的市场占有率，台积电为客户生产的产品将于119年帮助全球节电1,700亿度，约为生产用电4倍以上。
（作者：张建中；首图来源：科技新报摄）
