日本对销往韩国的三种半导体原料，实施出口管制将近一年以来，韩国终于成功开发出本土产品。SK Materials 宣布，已经开始量产蚀刻气体（etching gas），减少对日本关键原料的依赖。
韩联社、Aju Business Daily 17 日报导，SK 集团旗下的 SK Materials，去年在韩国荣州市（Yeongju）兴建年产量 15 吨的蚀刻气体工厂，17 日宣布开始量产高纯度蚀刻气体──氟化氢（hydrogen fluoride），这是生产晶圆的重要原料，可以洗掉制程时晶圆片上堆积的异物。
SK Materials 可能会供货内存大厂 SK 海力士，不过 SK Materials 不愿评论。2019 年 7 月，日本加强对三项原料的出口管制，分别是氟聚酰亚胺、光阻剂、蚀刻气体（高纯度氟化氢），都是生产半导体和可挠式面板的关键原料。不只如此，日本还把韩国踢出贸易优惠待遇国的名单之外。日韩交恶，韩国业者全力启动相关原料本土化生产。
蚀刻气体之外，SK Materials 还打算兴建氟化氩光阻剂（ArF photoresist）工厂，预定 2021 年完工、2022 年起每年产量达 5 万加仑。另外，SKC 准备要生产高阶光罩基板（mask blanks），也是半导体的重要原料。
（本文由 MoneyDJ新闻 授权转载；首图来源：shutterstock）
延伸阅读：
- 不想受制于日本，文在寅抢救 5G、半导体
- 日韩关系有望改善？日媒：半导体材料管制部分放宽
- 管制来首见！韩媒：日本允许液体氟化氢输韩，三星要用
- 没有禁运！日本传发许可，允许部分半导体材料出口韩国
