因应全球半导体供应链重组，并打造台湾为半导体先进制程中心，锁定高阶技术及材料等未来重点布局，而国内具特殊气体关键研发生产技术之耀儒科技股份有限公司（下称耀儒科技），近期通过科技部园区审议会核准进驻竹科铜锣园区投资建厂打造研发生产中心，为强化我国半导体供应链韧性助一臂之力。
竹科管理局表示，耀儒科技成立于 2020 年 4 月，公司团队凭借多年累积特殊气体开发及与国外气体大厂长期技术合作经验，已完成开发量产包括高纯度乙硼烷（B²H⁶）混合气及高纯度一氧化二氮（N²O）等特殊气体。乙硼烷（B²H⁶）因高度不稳定特性，会引发裂解反应而形成高硼烷与其他副产物气体，易导致半导体制造过程产生不纯物与杂质，目前主要还是仰赖国外进口为主。耀儒科技掌握自主开发之制程参数，从气体的生产、纯化、收集、精馏到混配控制的精密控管流程，在稳定的生产环境中，可依半导体厂需求客制化各阶段制程所需高良率及纯度之气体，成为台湾本土在地供应之第一家厂商。
2021 年因国际武汉肺炎疫情的影响，各大半导体大厂倚赖国际生产的原物料皆受到严重的供货影响，耀儒科技铜锣园区新厂预计可于 2022 年 1 月完成启用，届时除可就近提供台湾半导体厂所需气体外，亦将持续投入其他特殊气体如氯化氢（HCl）、二氯硅烷（SiCl²H²）等在地化研发制造。铜锣园区因位居竹科与中科半导体 12 吋晶圆厂重要聚落之间，其中外商比例约占三成，为全台外商比例最高的科学园区。
随 AI、5G、电动车等创新应用驱动半导体产业不断成长，近来亦投资热络，园区目前已有 18 家厂商与 1 家研究机构进驻，包括有供应半导体前段材料之日商台湾东应化、纳美仕、福吉米及三化电子材料外，力积电 12 吋晶圆厂新建工程也预计于 2021 年启动，连同半导体后段专业测试厂京元电子，铜锣园区已建构出半导体产业链的新聚落，并形成支援半导体产业关键材料的特色园区，也将成为我国发展高阶半导体先进制程中心最坚强的后盾。
（首图来源：耀儒科技）
