国家实验研究院仪器科技研究中心今年首度于台湾半导体产业年度盛事“SEMICON Taiwan 国际半导体展”亮相，展现“精密光机设计”、“精密光学元件制作”、“精密光学镀膜”与“精密光机组装与检测”等核心技术研发能量。
“SEMICON Taiwan 国际半导体展”汇集全世界顶尖的半导体科技厂商参与，连结了 IC 设计、制造、设备材料等环节，每年均吸引数万人参观。今年的展览从昨（9/3）日起在台北南港展览馆一连展出三天。
国内半导体厂用于微影制程的曝光机主要来自于荷兰及日本的仪器大厂，后续维修服务也完全倚靠原厂，价格昂贵。仪科中心拥有高阶光机电技术，据此开发出曝光机中的关键零组件光束整形镜片与石英导光柱、晶圆夹持模组（Wafer Chuck）与晶圆移动机构顶针（Elevation Pin, E-Pin）、i-line 滤光片与偏振分光镜，以及高倍数微型激光扩束器，这些关键零组件均在此次展览中展出。有了这些关键零组件，国内仪器设备厂商即可提供半导体厂曝光机维修服务，不但可以提升国内设备厂商技水准、促进就业机会，亦可协助国内半导体厂降低成本。
仪科中心成立已届 40 年，光机电研究能量由最早的显微镜，跃升到福尔摩沙卫星对地光学取像镜头模组，现更进一步将太空光学技术商用化，运用于半导体制程设备。仪科中心的目标是成为国内半导体产业设备与医学光电领域的技术领航者，在近几年内，会将半导体级之曝光机镜头模组、曝光机置换镜片、原子层沉积（ALD）薄膜制程设备陆续导入产业供应链。
