因应国内半导体奈米级制程需求，经济部标准检验局设置的国家度量衡标准实验室开发首项铅元素参考物质，将有助厂商降低自有检测设备校正及试剂检测成本。
标检局今天发布新闻稿表示，国家度量衡标准实验室新设“静态重力法无机元素供应验证系统”，推出国内首项依据 ISO17034 品质规范生产的铅元素参考物质，有助国内电子级试剂污染物分析计量追溯。
半导体奈米制程被视为是未来重要趋势，标检局官员说明，为因应将来大量需求，提早在国内建置相关检测能量，根据国家度量衡标准实验室网站公布资讯，每次提供铅标准液及报告的费用为新台币 8,000 元，较国外检测费用低廉，也可节省运送费用及等待时间。
标检局指出，半导体奈米制程对多项污染物非常敏感，因此对制程中所使用试剂含有的微量金属污染物品管要求日渐严苛，这项新开发的静态重力法无机元素供应验证系统利用滴定方式，进行液态铅元素参考物质浓度验证，可供应 1,000 mg/kg ± 2 mg/kg 铅元素参考物质，并可依照厂商要求调整。
官员表示，实验室提供验证系统都与其他国家标准进行比对，与美国及日本生产的验证参考物质具技术等同性，相对不确定度均小于 0.2%。
标检局表示，实验室自即日起接受 3 个月内电话预约服务，可洽询实验室预约专线（03）573-2243 及（03）573-2244，并可上国家度量衡标准实验室网站查寻新系统详细校正规格、范围及费用讯息。
（作者：廖禹扬；首图来源：经济部标准检验局）
