韩国媒体朝鲜日报日文版、中央日报日文版 3 日、4 日报导,三星电子已开始在部分半导体产线上使用国产氟化氢。三星于 3 日宣布,“最近开始在部分半导体制程投入国产氟化氢”。此为三星在日本祭出管制令来约 2 个月时间就开始采用国产品替代日本制产品,替代作业较预期更快。业界原先预期要在半导体制程使用替代品恐需 3~6 个月。
报导指出,三星已从 8 月中旬开始在部分半导体制程使用由韩国 SoulBrain 和 ENF Technology 制造的氟化氢。两家公司原先是从日本森田化学工业、Stella Chemifa 进口高纯度氟化氢并精制后,出货给三星,而此次是使用中国制无水氢氟酸,成功制作出纯度 99.999% 的氟化氢液状产品。
据报导,在 500 个以上半导体制程中,约 50 个需使用氟化氢,三星在其中 1~2 个开始使用国产品替代日本制产品。氟化氢是用于半导体/面板蚀刻、洗净工程必需的关键材料,据韩国贸易协会指出,截至 2019 年 5 月底,韩国对日本制氟化氢的依赖度达 43.9%。
纯度 99.999% 以上的高纯度氟化氢目前由森田化学工业、Stella Chemifa 等日厂掌控全球 70% 以上市占率。
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