1 月底，晶圆代工龙头台积电位于南科的 14B 厂发生了因为使用不合规定的光阻液，造成大量晶圆瑕疵而报废的事件，使得台积电因此损失了新台币数十亿元，并且进一步调降 2019 年第 1 季的财测，造成市场极大的震撼，这也让许多企业了解，针对液态材料缺陷检测的重要性。对此，国内电子检测验证大厂宜特科技就推出了液态材料缺陷检测服务，以因应目前市场上的相关需求。
宜特科技表示，由于半导体多道制程中，包括晶圆生产的黄光蚀刻、薄膜等制程中，或是其他太阳能、LED 芯片等电子产品的制造过程，都有机会因使用到不合规定的液体或挥发性材料而造成缺陷的问题。因此，宜特科技宣布推出液态材料缺陷检测服务，将有助于相关业者分析液态材质缺陷。
宜特科技指出，针对一般样品，宜特科技会使用扫描式电子显微镜 SEM (Scanning Electron Microscope) 进行样品表面形貌的检测。然而，样品必须于真空系统下作业，并且样品局限在固体。至于，对于液态或挥发性材料，由于此类样品会影响电子显微镜的真空度，并可能造成腔体污染，因此以往若要使用 SEM 的方式进行检测，具有难度。
为解决这样的难题，一般方式通常会将液态或挥发性材料烘烤后，变成固态，再将固态样品利用 SEM 进行检测。然而，往往经过烘烤后的样品形貌均可能已失真，例如液态材料内之粒子 (Particle) 分布与分散性，这些特性于材料经烘烤后均已改变，其检测结果便无法达到其真实性，因此宜特科技特别引进液态材料专用的 SEM 载台，以解决此问题。
宜特科技进一步指出，新式的 SEM 液态载台是封闭式结构，可以将液态或挥发性材料封闭其中，故可避免影响 SEM 的真空度与真空系统污染等问题。此外，SEM 电子显微镜透过载台表面厚度仅数十奈米之氮化硅 SiN 薄膜，仍可以激发出液态样品表面之二次电子或背向电子，借此可以顺利成像。
最后，若搭配 EDS 工具 (Energy Dispersive Spectroscopy) 检测，即可进行成分分析。除此之外，SEM 影像可透过专用软件进行分析，即可得到尺寸分布、分散性、形状分布等数据资料，以做为材料研发或制程改善、监控的依据。而透过这样的检测做法，将可以降低企业采用到不合格液体或挥发性材料的风险，避免企业的生产损失。
(首图来源:宜特科技提供)
