Micro LED 晶粒有望在 12 吋硅晶圆上生产。法国新创公司 Aledia 近日宣布,与法国研究单位 CEA-Leti 成功在 12 吋硅晶圆上生产 Micro LED 晶粒;如此一来,可望提供更好的成本效益,且更容易与采用先进制程的电子产品(Electronics)整合。
据悉,传统的平面 Micro LED(2D MicroLED)是在 4 吋或 6 吋的蓝宝石基板上,透过沉积氮化镓晶体薄膜(Depositing flat layers of gallium-nitride GaN crystal)生产而来;而 Aledia 的 Micro LED,则是借由在硅基板上成长出氮化镓奈米线(Grows GaN nanowires)的方式而来。
▲ Aledia 和 CEA-Leti 联手在 12 吋晶圆上生产 Micro LED。(Source:Aledia)
Aledia 表示,过往平面 Micro LED 会有应力限制,且这种应力会随着晶圆尺寸的增加累积;但采用这种 3D 奈米线的技术,便不会受应力限制,所以相较于平面的 Micro LED,可以使用更大尺寸的晶圆生产,并与标准的硅制程衔接。因此,Aledia 的 3D LED 可在一般的硅晶圆厂制造,不仅产量大幅增加,同时也能确保高良率。
事实上过去 8 年,Aledia 都是在 8 吋晶圆上开发 Micro LED 技术,但借由 3D 结构,日后 Micro LED 晶粒可望改用 12 吋晶圆生产。Aledia 首席执行官 Giorgio Anania 表示,一片 12 吋晶圆,约可以生产 60~100 片智能手机显示面板,而目前大多数 LED 业者使用的 4 吋蓝宝石晶圆,只能生产 4~6 片智能手机面板。而透过 Aledia 独有的 3D 结构,便可用一般硅晶圆制程与设备生产。
Anania 进一步补充,能在标准硅晶圆厂制造,是 Micro LED 显示技术大量生产、加速普及的关键,透过硅晶圆厂的产能和供应链,才能满足显示市场的大需求。举例来说,假设 60 吋以上电视大量导入基于 3D LED 的 Micro LED 面板,每年就需要 2,400 万片的 12 吋晶圆,这还不包括智能手机、笔记型电脑和平板所需的小尺寸面板。所以,只有硅晶圆厂和供应链,才能有如此庞大的生产能力。
- Aledia Announces it Has Produced its First Nanowire Chips on 300mm Silicon Wafers Using CEA-Leti Pilot Lines
(首图来源:三星)