晶圆代工厂台积电打造晶圆清洗机台热水循环系统，成功减少 80% 热水浪费，至 11 月已完成 29 组热水设备改良，共省下 1,400 万度电。
台积电 12 月企业社会责任电子报今天出炉，台积电指出，供应晶圆清洗机台热水的热水设备，以往为避免管线内形成死水、造成杂质污染，在机台未运作期间，仍不断输出热水，确保管线通畅。
为有效控管热水设备用电量，台积电营运技术委员会与机台承揽商携手研究改良方案，利用热水循环的概念，在原供水管路加装一道储热水槽，连接机台端未经使用过的热水排放管路，有效回收未经使用过的热水。
改良的热水设备，经台积电研发组织验证后，已优先在晶圆 18 厂使用，未来将全面推广至晶圆 12 厂、晶圆 14 厂及晶圆 15 厂等 12 吋晶圆厂区。
台积电估计，每台改良的热水设备可以省下约 30% 耗能，自今年 1 月起至 11 月已节省 1,400 万度电，预计民国 114 年以前可省下 1 亿度电。
台积电在强化用水效率方面也颇有成效，12 月获可持续水管理（AWS）授证，成为首家 AWS 白金级认证的半导体厂，评鉴结果 114 分，还创下史上最高分纪录。
同时，台积电导入机械式蒸汽再压缩技术，将硫酸铵废液转制为有价值的工业级硫酸铵结晶产品，截至 11 月已减少原先需委外处理的废硫酸约 9.4 万吨、硫酸铵废液约 1,200 吨，创造约新台币 1.4 亿元的效益。
台积电预计于 111 年达到 100% 循环再生，开创硫酸铵废液零委外的减废里程碑。
台积电表示，与上下游供应商携手持续精进，驱动产业与供应链正向改变，参与零配件清洗厂辅导暨提升计划的科治新技，6 年来已自原先的铁皮工厂，蜕变为台积电 A 级绩优厂商，也成为国际半导体厂跨海来台指定合作对象。
（作者：张建中；图片来源：台积电）
