攸关台积电 10 奈米先进制程建厂计划的中科园区（原大肚山弹药分库）开发案，历经环团抗议、环评多次卡关，终于在 2015 年 2 月有条件通过环评，但当初所递交的开发报告，原开发规划可能使用或排放的化学物质品项有所变更，环保署今 3 日初审通过后，将再度送交环评大会裁定最终结果。
中科园区（原大肚山弹药分库）开发案，环评历经四度闯关才终于在 2015 年 2 月通过，此案攸关台积电中科晶圆 15 厂扩厂，新厂规划导入 10 奈米等先进制程，以抗英特尔、三星等劲敌，因此开发案动向备受业界关注。
环保署在去年 2 月决议，中科一、二期健康风险评估也纳入中科五期评估下，有条件通过此案。但在半导体制程持续研发下，原先递交报告，预计厂房运作将使用或衍生的化学物质项目与数量拟有所变更，因此环保署等有关单位，针对这一部分再度做了审议。
原先环评书件所罗列可能使用或衍生的化学物质有 152 项，筛选出有危害性的化学物质有 36 项，其中 Group 2B 以上（可能人体致癌）的致癌物质有乙醇、乙醛、砷、镍 4 项，此次环境影响差异分析报告所列的化学物质清单数量变更为 182 项，但筛选出有危害的化学物质降为 32 项，致癌物质有砷、镍、二氯甲烷、三氯甲烷及钴化合物等 5 项。
环保署专案小组初审认定，此次营运阶段化学物质项目与数量变更大致符合健康风险评估技术规范，不过需再补充增减运作或衍生化学物质检测来源浓度，以及暴露剂量、致癌、非致癌风险及风险管理对策。另开发单位仅得运作化学物质确认清单所列项目，未来如有变更，依旧得符合健康风险评估技术规范并提前申请变更。专案小组审核通过修正案后，将由环评大会再做最终认定。
中科园区（原大肚山弹药分库）开发案开发规模维持原本的 53.08 公顷不变，台积电申请使用面积约 32 公顷，2017 年台积电该地晶圆 15 厂 P5、P6 厂完工，预计将导入最先进 10 奈米制程产品量产。拥有捷安特品牌的巨大机械在未来两年内也将进驻此地，使用占地约 1.65 公顷。
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