除了先进制程之外,先进封装也成为延续摩尔定律的关键技术,像是 2.5D、3D 和 Chiplets 等技术在近年来成为半导体产业的热门议题。究竟,先进封装是如何在延续摩尔定律上扮演关键角色?而 2.5D、3D 和 Chiplets 等封装技术又有何特点?
人工智能(AI)、车联网、5G 等应用相继兴起,且皆须使用到高速运算、高速传输、低延迟、低耗能的先进功能芯片;然而,随着运算需求呈倍数成长,究竟要如何延续摩尔定律,成为半导体产业的一大挑战。
芯片微缩愈加困难,异质整合由此而生
换言之,半导体先进制程纷纷迈入了 7 奈米、5 奈米,接着开始朝 3 奈米和 2 奈米迈进,晶体管大小也因此不断接近原子的物理体积限制,电子及物理的限制也让先进制程的持续微缩与升级难度越来越高。
也因此,半导体产业除了持续发展先进制程之外,也“山不转路转”地开始找寻其他既能让芯片维持小体积,同时又保有高效能的方式;而芯片的布局设计,遂成为延续摩尔定律的新解方,异质整合(Heterogeneous Integration Design Architecture System,HIDAS)概念便应运而生,同时成为 IC 芯片的创新动能。
▲ 异质整合成为实现小体积、高效能芯片的另一种方式。(Source:SEMI)
所谓的异质整合,广义而言,就是将两种不同的芯片,例如内存+逻辑芯片、光电+电子元件等,透过封装、3D 堆叠等技术整合在一起。换句话说,将两种不同制程、不同性质的芯片整合在一起,都可称为是异质整合。
因为应用市场更加的多元,每项产品的成本、性能和目标族群都不同,因此所需的异质整合技术也不尽相同,市场分众化趋势逐渐浮现。为此,IC 代工、制造及半导体设备业者纷纷投入异质整合发展,2.5D、3D 封装、Chiplets 等现今热门的封装技术,便是基于异质整合的想法,如雨后春笋般浮现。
2.5D 封装有效降低芯片生产成本
过往要将芯片整合在一起,大多使用系统单封装(System in a Package,SiP)技术,像是PiP(Package in Package)封装、PoP(Package on Package)封装等。然而,随着智能手机、AIoT 等应用,不仅需要更高的性能,还要保持小体积、低功耗,在这样的情况下,必须想办法将更多的芯片堆积起来使体积再缩小,因此,目前封装技术除了原有的 SiP 之外,也纷纷朝向立体封装技术发展。
立体封装概略来说,意即直接使用硅晶圆制作的“硅中介板”(Silicon interposer),而不使用以往塑胶制作的“导线载板”,将数个功能不同的芯片,直接封装成一个具更高效能的芯片。换言之,就是朝着芯片叠高的方式,在硅上面不断叠加硅芯片,改善制程成本及物理限制,让摩尔定律得以继续实现。
而立体封装较为人熟知的是 2.5D 与 3D 封装,这边先从 2.5D 封装谈起。所谓的 2.5D 封装,主要的概念是将处理器、内存或是其他的芯片,并列排在硅中介板(Silicon Interposer)上,先经由微凸块(Micro Bump)连结,让硅中介板之内金属线可连接不同芯片的电子讯号;接着再透过硅穿孔(TSV)来连结下方的金属凸块(Solder Bump),再经由导线载板连结外部金属球,实现芯片、芯片与封装基板之间更紧密的互连。
▲ 2.5D 和 3D 封装是热门的立体封装技术。(Source:ANSYS)
目前为人所熟知的 2.5D 封装技术,不外乎是台积电的 CoWoS。CoWoS 技术概念,简单来说是先将半导体芯片(像是处理器、内存等),一同放在硅中介层上,再透过 Chip on Wafer(CoW)的封装制程连接至底层基板上。换言之,也就是先将芯片通过 Chip on Wafer(CoW)的封装制程连接至硅晶圆,再把 CoW 芯片与基板连接,整合成 CoWoS;利用这种封装模式,使得多颗芯片可以封装到一起,透过 Si Interposer 互联,达到了封装体积小,功耗低,引脚少的效果。
▲ 台积电 CoWos 封装技术概念。(Source:台积电)
除了 CoWos 外,扇出型晶圆级封装也可归为 2.5D 封装的一种方式。扇出型晶圆级封装技术的原理,是从半导体裸晶的端点上,拉出需要的电路至重分布层(Redistribution Layer),进而形成封装。因此不需封装载板,不用打线(Wire)、凸块(Bump),能够降低 30% 的生产成本,也让芯片更薄。同时也让芯片面积减少许多,也可取代成本较高的直通硅晶穿孔,达到透过封装技术整合不同元件功能的目标。
(首图来源:NXP)