台科大研究团队研发出非晶金属合金的奈米管，是全球首次成功制造将排列整齐有序的金属奈米管阵列在硅晶圆上，也是奈米管材质上的重大突破。
台湾科技大学今天发表新闻稿表示，台科大研究团队在奈米管材质上有重大突破，有别于一般的碳奈米管，台科大研发出非晶金属合金（金属玻璃）的奈米管，是全球首次成功制造将排列整齐有序的金属奈米管阵列在硅晶圆上，研究结果刊登于顶尖国际期刊《今日材料》（Materials Today）。
台科大研究团队表示，奈米管大多为碳质或陶瓷氧化物的材料，且多为混乱排列结构，如果要排列成整齐的奈米管，不仅制程困难、繁琐，且很难大面积化，团队尝试使用不同的材料应用在奈米管上，希望让半导体制程更有效率并降低成本。
（Source：台科大）
研究团队利用非晶金属合金具有较高强度的特性，结合简易的半导体微影制程及溅镀的镀膜方式，成功制造出排列整齐有序的金属奈米管阵列在硅晶圆上。
研究团队成员、台科大材料系教授陈建光指出，研究团队借由纯熟、可量产、大面积化的半导体微影技术，轻易调整奈米管的尺寸，此技术制程简易且皆于常温下进行，因此能制备在硅芯片、玻璃、聚合性高分子等各种材质。
台科大材料系教授朱瑾也表示，未来研究团队期望将金属玻璃奈米管阵列应用在生物感测芯片，提供更快速精准的检测，解决传统半导体硅奈米元件高成本及定量检测不易的问题，相信对生物感测芯片的开发与制造将会有很大的突破。
（作者：许秩维；首图来源：Flickr/Santi CC BY 2.0）
