日经新闻 3 日报导,全球第 2 大 NAND 型闪存(Flash Memory)厂商东芝(Toshiba)将在 2017 年度采用被称为“奈米压印(Nano-imprint Lithography,NIL)”的新技术,生产使用于智能手机等产品的 NAND Flash,借此可让曝光工程(形成回路的工程)成本压低至采用现行技术的三分之一水准,就整体制造工程来看,预估成本有望删减约 1 成。
报导指出,东芝正和大日本印刷(DNP)、Canon 持续研发 NIL 技术,以期望借由提高成本竞争力,对抗韩国三星电子。
据报导,东芝计划今后 3 年内对半导体事业砸下 8,600 亿日圆进行投资,其中部分资金将用来整备采用 NIL 技术的 NAND Flash 产线,且计划于 2017 年度开始进行生产,之后并计划利用预计于 2018 年度启用的新厂房进行量产。
因现行技术已难以进一步提高半导体性能,故包含东芝在内的全球半导体大厂正积极进行次世代技术的研发,而除了上述的 NIL 之外,荷兰设备厂 ASML 在获得美国英特尔(Intel)、韩国三星的支援下,正进行“极紫外光(EUV)曝光”技术的研发。
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