随 5G、物联网及高效能运算等新兴科技应用快速拓展，半导体市场持续畅旺，为因应此波需求，半导体大厂积极扩充产能，加上-积极推动国内半导体设备及零组件产业升级，以及企业建构在地采购供应链吸引国际大厂在台投资建厂，带动台湾半导体设备产值自 2012 年起已连续 8 八年正成长，经济部统计处指出，2020 年 1~11 月台湾半导体设备产值已来到 594 亿元，年增 9.5%，预期全年度产值可达 650 亿元以上，续创佳绩。
经济部统计处指出，国产半导体设备包含生产、检测两大类，其中以生产设备及零件占大宗，主要供应国内市场为主，内销比重约占七成，近年生产设备厂商积极投入研发制造，持续接获国内大厂订单，产值自 2012 年起连续 8 年二位数成长，占整体产值比重亦逐年攀升，2019 年已达 75%，为台湾半导体设备产值连年成长的主要贡献来源，2020 年 1~11 月产值续增 15%。另外，检测设备及零件内外销市场比重约占各半，随国内半导体厂扩建产能需求热络，2020 年 1~11 月内销产值成长 11%，内销比重突破六成。
以半导体设备出口来看，依据海关进出口统计，2020 年我国半导体设备出口值（不含复出口）为 15 亿美元，年增 29%；其中，以中国为最大外销市场，占 44%，出口金额约 7 亿美元，年增 3.7%；其次依序为新加坡占 18%、美国占 14.4% 及马来西亚占 6.9%，出口金额分别年增 89.5%、53.9% 及 67.3%，三者合计对出口成长贡献达 21.1 个百分点，为 2020 年出口成长的主要贡献来源。
据国际半导体产业协会（SEMI）统计，2020 年全球半导体制造设备销售金额将创下 689 亿美元的新纪录，其中，台湾为全球第二大的设备需求市场。
依据海关统计，除了 2019 年因进口高单价的芯片微影设备，荷兰跃升为最大进口国外，日本及美国一向为台湾主要半导体设备进口来源，2020 年台湾半导体设备进口值（不含复进口）为 230 亿美元、年减 1.1%，其中，自日本进口 55 亿美元占 23.7% 居首，自美国进口占 22.2% 居次，自荷兰进口占 21.7% 居第三。
统计处表示，台湾拥有全球最完整的半导体产业聚落及专业分工，惟主要生产设备及材料多须仰赖国外，为提高半导体供应链自给率，-积极推动台湾成为“半导体先进制程中心”，期吸引更多国际设备及材料大厂来台投资，同时厚植国内业者研发及技术量能，落实供应链的自主化与国产化，藉以提高台湾产业的国际竞争力。
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